特許
J-GLOBAL ID：200903044875106166
加熱ユニット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334149
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179970
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 加熱面の温度分布を改善した真空装置用の加熱ユニットを提供することを目的としている。【構成】 耐熱合金板3・3a・3bと銅板4・4aを交互に積層して両面を耐熱合金板とした熱板5に抵抗加熱素子6を設けて加熱ユニットとしたものである。
請求項（抜粋）：
耐熱合金板と銅板とを交互に積層して両表面を耐熱合金板とした熱板に抵抗加熱素子を設けた加熱ユニット。
IPC (4件)：
C23C 14/50
, H01L 21/68
, H05B 3/20 358
, H01L 21/203
