特許

J-GLOBAL ID：200903044890128443

光記録媒体及びその製造方法

発明者： 高田 國夫 ,  宮越 俊守 ,  鈴木 伸昌
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-101010
公開番号（公開出願番号）：特開平7-044905
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 高品質な光記録媒体を低コストで製造する方法を提供することを目的とする。【構成】 基板上に記録膜及び無機誘電体膜の積層膜を有する光記録媒体の製造方法に於て該無機誘電体膜を無端環状導波管を具備するマイクロ波導入手段を有するプラズマ処理装置を用いて成膜することを特徴とする。【効果】 高品質な光記録媒体用無機誘電体膜を生産性良く成膜できる。

請求項（抜粋）：

基板上に記録膜及び無機誘電体膜の積層膜を有する光記録媒体の製造方法であって、該無機誘電体膜を無端環状導波管を具備するマイクロ波導入手段を有するプラズマ処理装置を用いて成膜することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

IPC (4件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/50 ,  G11B 7/24 536

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-103088
  
• 特開平3-069033
  
• 特開平3-066043
  
• 特開平4-030343