特許

J-GLOBAL ID：200903044890525655

ポリシングヘッド

発明者： 田澤 進一
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-158126
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343421
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 ガイドリングの内側へのスラリーの適度な供給および内側からの排出を可能にすることにより、ウエーハの加工能率の向上、平坦度の向上、或いはスクラッチの発生を防止させることが出来るガイドリングを備えたポリシングヘッドを提供する。【解決手段】 ポリシングヘッド8におけるガイドリング6の、研磨布2との対向面に放射状あるいは放射状からわずかずれた溝15を設けるか、または線対称の格子状の縦溝20,横溝21を設けることにより、スラリー3をガイドリング6の内側に流入させ、ウエーハをポリシングした後前記溝を通して早期排出出来るので、加工能率の向上、平坦度の向上、或いはスクラッチの発生を防止させることが出来る。

請求項（抜粋）：

トップリングの外周にガイドリングを有するポリシングヘッドにウエーハを保持させ、研磨布を貼った回転定盤に前記ウエーハを押し付け、スラリーを供給しながらポリシングを行うポリシング装置のポリシングヘッドにおいて、ウエーハの外周を保持する前記ガイドリングの前記研磨布と対向する面に、内径から外径に通じる溝を形成したことを特徴とするポリシングヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA16 ,  3C058AB06 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17