特許
J-GLOBAL ID：200903044892542344
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-024397
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236985
出願日： 1993年02月12日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 CD固体撮像素子の特性を低下することなく、CCD固体撮像素子と高耐圧駆動ICのワンチップ化が可能なCCD固体撮像素子を実現する。【構成】 n型基板1上に互いに電気的に分離された第1のp型島領域2と第2のp型島領域3が形成されている。第2のp型島領域3の中に高エネルギーイオン注入によりn型島領域4が形成されている。第1のp型島領域2の中に受光部5、垂直転送CCD6、水平転送CCD7及び電荷検出部8が形成されている。垂直転送CCD6及び水平転送CCD7を駆動する駆動回路9は、第2のp型島領域3及びn型島領域4に形成されたMOSFETにより構成されている。
請求項（抜粋）：
n型基板上に互いに電気的に分離された第1のp型島領域及び第2のp型島領域がそれぞれ形成され、上記第1のp型島領域の中に受光部、電荷転送部及び電荷検出部がそれぞれ形成され、上記第2のp型島領域の中に高エネルギーイオンの注入によってn型島領域が形成され、上記電荷転送部を駆動する駆動回路は上記第2のp型島領域及び上記n型島領域に形成されたMOSFETからなることを特徴とする固体撮像装置。
引用特許：
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