特許
J-GLOBAL ID：200903044907014161
減圧容器内におけるダスト回収方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066329
公開番号（公開出願番号）：特開平9-253441
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】【課題】 減圧状態においても、簡易な方法でかつ効率的にダストを集塵することを課題とする。【解決手段】減圧容器内において、ダスト付着部位としての低温部と少なくとも低温部よりも高い温度を有する高温部を設け、その間に生じる温度差に基づく熱泳動力を利用して、低温部に当該減圧容器内のダストを付着させて回収する。
請求項（抜粋）：
減圧容器内において、ダスト付着部位としての低温部と少なくとも低温部よりも高い温度を有する高温部を設け、その間に生じる温度差に基づく熱泳動力を利用して、低温部に当該減圧容器内のダストを付着させて回収することを特徴とする減圧容器内におけるダスト回収方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B01D 49/02
, G21B 1/00 L
, G21B 1/00 B
