特許
J-GLOBAL ID：200903044907288997
振動子および角速度センサ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264250
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091962
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 振動の振幅を大きくし、検出感度を向上させる。【構成】 振動子10の振動部32,34の接合部30,31を励振側アーム12および検出側アーム22を形成する材料より剛性の低い材料により形成する。励振用圧電素子18aに交流電圧を印加して振動部32,34にx軸方向の振動を与えると、振動波形は、正弦波形状より「く」の字形に近づいた波形となり、接合部30,31での振幅は、同じ剛性の材料により形成した場合に比べて大きくなる。この振動を与えた状態でz軸回りに回転角速度を作用させると、振幅に比例したコリオリ力が振動部32,34に作用し、y軸方向の振動が生じ、検出用圧電素子28a,28bにより振動状態に応じた電気信号が検出される。従って、接合部30,31の剛性を低くすることにより振幅を大きくし、検出される電気信号を大きくして、検出感度を向上させる。
請求項（抜粋）：
少なくとも2箇所の支持部を有する振動子において、該振動子を振動させたときに振動の腹となる部分に、他の部分より剛性の低い部分を設けたことを特徴とする振動子。
IPC (2件)：
前のページに戻る
