ステージ装置及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021322
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227737
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】吸着力が十分に大きい吸着装置を備えたステージ装置を提供することを目的とする。【構成】下板15と、下板15に対して水平方向に移動可能なように、下板15に載せられている上板17と、上板17に配設され、前記移動時に発生するダストを集塵する集塵手段とを備えたステージ装置において、前記集塵手段は、前記ダストを吸着する吸着部材19と、前記吸着のために、吸着部材19と前記ダストとのいずれか一方を正の電荷に帯電させると共に、吸着部材19と前記ダストとの他方を負の電荷に帯電させる帯電手段とを備えている。

請求項（抜粋）：

下板と、前記下板に対して水平方向に移動可能なように、前記下板に載せられている上板と、前記上板に配設され、前記移動時に発生するダストを集塵する集塵手段と、を備えたステージ装置において、前記集塵手段は、前記ダストを吸着する吸着部材と、前記吸着のために、前記吸着部材と前記ダストとのいずれか一方を正の電荷に帯電させると共に、前記吸着部材と前記ダストとの他方を負の電荷に帯電させる帯電手段と、を備えていることを特徴とするステージ装置。

IPC (7件)：

B23Q 11/00 , B03C 3/02 , B03C 3/12 , B03C 3/40 , B23Q 1/60 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A , B23Q 1/18 A

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