特許

J-GLOBAL ID：200903044920037596

空調装置、隔壁及び露光装置

発明者： 秋山 恭一 ,  高 元徳 ,  小川 誠 ,  蜂須賀 勝 ,  尾崎 隆志 ,  小川 嘉祐 ,  竹内 勇
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  株式会社朝日工業社
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015884
公開番号（公開出願番号）：特開平11-210109
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 露光装置において、外からチャンバ内に侵入する低周波騒音を抑制すること。【解決手段】 チャンバの隔壁を、2枚の鋼板又はアルミニウム板16でセラミックのハニカム構造材料18をサンドイッチした構造とする。高い剛性を有するので、低周波騒音に対して極めて高い防音効果を有する。

請求項（抜粋）：

空調機で空調された空間側に配置される第1板材と、前記空間とは異なる空間側に配置される第2板材とを有する隔壁を備えた空調装置において、前記第1板材と前記第2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第1板材と第2板材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備える多数のセルを有することを特徴とする空調装置。