特許

J-GLOBAL ID：200903044923544340

液体状化学薬品の分配方法並びにシステム

発明者： ミンディ・シュー ,  グザビエ・ビガー
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267241
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109195
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】液体状化学薬品、好ましくは超純度の化学薬品を分配する方法と装置である。【解決手段】本発明は、化学薬品をあらゆる最終使用者に円滑にまた連続的に供給するために、内部に可撓性の気球25が挿入され、拡張不可能な壁を有した1つまたはそれ以上の圧力容器24を使用している。圧力容器内の気球が高圧ガスを化学薬品から隔離しているので、化学薬品内へのガスの溶解とそれによるガスの気泡の問題が有効に除去される。さらに、気球を充填する高圧ガスは、化学薬品内に転送されず、また、有毒な化学薬品が排出されるガス内に深刻な環境問題として転送されない。

請求項（抜粋）：

(a)供給導管によって供給源に接続され内側の面を有する圧力容器と;(b)圧力容器内に配置され内側の面と外側の面を有する気球と;(c)気球の外側の面の少なくとも一部分と圧力容器の内側の面の少なくとも一部分とによって規定された液体状化学薬品を収容する空間と;(d)加圧ガスを気球内に供給するための手段と;を有し、気球内にガスを導入することによって液体状化学薬品が放出導管を通って前記空間から最終使用者のステーションへ排出されることを特徴とする液体状化学薬品を供給源から最終使用者へ移送し供給するためのシステム。

IPC (4件)：

B67D 5/00 ,  B65D 83/00 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

B67D 5/00 ,  H01L 21/304 648 K ,  B65D 83/00 L ,  H01L 21/306 J