特許

J-GLOBAL ID：200903044929954311

複合酸化物薄膜の製造方法及びその方法で得られる複合体

発明者： 神戸 由美 ,  伊佐治 雅久
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084896
公開番号（公開出願番号）：特開平9-278436
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【構成】 水熱合成法により基板上に複合酸化物の薄膜を形成する方法において、加圧条件下、目的とする複合酸化物を構成するすべての金属元素のイオンを含有する水溶液中に、目的とする複合酸化物を構成する元素のうち少なくとも1種類を表面層に有する基板を保持し、鉛直方向に1Hz以上の振動を与えつつ水熱合成を行なうことを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法、及び前記方法による薄膜を有する複合体。【効果】 大面積で、厚みの均一な複合酸化物薄膜を容易に製造できる。焼成等の高温処理を必要としないため、基板に有機材料を用いることもできる。このため、圧電モノモルフや圧電バイモルフ等の圧電素子、積層型アクチュエータ、積層型コンデンサ等の様々な複合材料の製造に応用できる。

請求項（抜粋）：

水熱合成法により基板上に複合酸化物の薄膜を形成する方法において、加圧条件下、目的とする複合酸化物を構成するすべての金属元素のイオンを含有する水溶液中に、目的とする複合酸化物を構成する元素のうち少なくとも1種類を表面層に有する基板を保持し、鉛直方向に1Hz以上の振動を与えつつ水熱合成を行なうことを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法。

IPC (7件)：

C01G 1/00 ,  C04B 35/49 ,  C23C 18/02 ,  C23C 22/73 ,  C30B 7/10 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24

FI (7件)：

C01G 1/00 B ,  C23C 18/02 ,  C23C 22/73 A ,  C30B 7/10 ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A