レーザ光検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017564
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225150
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】環境の悪い場所に設置されても長期間安定してレーザ光のレーザエネルギを検出すること。【構成】レーザ光の一部を透過させるビームスプリッタと、そのレーザ光を積分減衰させる積分球と積分減衰されたレーザ光のレーザエネルギを検出する光センサとビームスプリッタと積分球との間及び積分球と光センサとの間を閉塞する閉塞部材とからなる。これにより、外気から閉塞されるため、外気による積分球内面の汚れが発生しなくなり、長期間安定にレーザ光が検出される。

請求項（抜粋）：

レーザ光の一部を透過し、その他を反射するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタを透過したレーザ光を積分減衰する積分球と、前記積分球で積分減衰されたレーザ光のエネルギを検出する光センサと、前記ビームスプリッタと前記積分球との間及び前記積分球と前記光センサとの間を外気から閉塞する閉塞部材とを具備することを特徴とするレーザ光検出装置。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 1/04 , H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-259223
特開昭48-049395
特開昭63-283441

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