特許

J-GLOBAL ID：200903044935463648

照明光学装置、露光装置および露光方法

発明者： 金山谷 信道
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-100852
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297727
出願日： 2002年04月03日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置。【解決手段】 光源手段(1)とオプティカルインテグレータ(10)との間の光路中に配置された第1アキシコン系(7)と、第1アキシコン系とオプティカルインテグレータとの間の光路中に配置された第2アキシコン系(8)とを備えている。第1アキシコン系は、光源手段側から順に、少なくとも光軸に沿って移動可能に構成された第1プリズム(7a)と、光軸に沿って固定された第2プリズム(7b)とを有する。第2アキシコン系は、光源手段側から順に、少なくとも光軸に沿って固定された第3プリズム(8a)と、光軸に沿って移動可能に構成された第4プリズム(8b)とを有する。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束に基づいて二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータからの光束を被照射面へ導くための導光光学系とを備えた照明光学装置において、前記光源手段と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され、前記オプティカルインテグレータへの入射光束の入射角度と入射位置との少なくとも一方を変化させるための第1アキシコン系と、前記第1アキシコン系と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され、前記オプティカルインテグレータへの入射光束の入射角度と入射位置との少なくとも一方を変化させるための第2アキシコン系とを備え、前記第1アキシコン系は、前記光源手段側から順に、少なくとも光軸に沿って移動可能に構成された第1プリズムと、光軸に沿って固定され且つ前記第1プリズムの屈折面と相補的に形成された屈折面を有する第2プリズムとを有し、前記第2アキシコン系は、前記光源手段側から順に、少なくとも光軸に沿って固定された第3プリズムと、光軸に沿って移動可能に構成され且つ前記第3プリズムの屈折面と相補的に形成された屈折面を有する第4プリズムとを有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502

FI (3件)：

G02B 19/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (12件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA12 ,  2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB10 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23