特許
J-GLOBAL ID：200903044937720249
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254590
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109647
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 被検体の観察領域を十分に大きな照度の照明光で照明すると共に、十分に小さい光学的ノイズで欠陥検査を行う。【構成】 半導体ウエハ1上の点状の照明領域48Aを照明する照明光学系(3,4,46,10)と、照明領域48Aのパターンをフーリエ変換するレンズ10と、そのフーリエ変換像から欠陥の無い場合のフーリエ変換成分を除去する空間フィルタ51と、空間フィルタ51を通過した光を逆フーリエ変換して欠陥像を結像するレンズ23と、欠陥像を受光する光検出器アレイ26とを有する。
請求項（抜粋）：
被検パターンの光学的なフーリエ変換像を形成する第1レンズと、前記フーリエ変換像を逆フーリエ変換する第2レンズとを有し、該第2レンズにより前記被検パターンの欠陥の像を投影する欠陥検査装置において、前記被検パターン上の点状又は線状の照明領域を照明する照明手段と、前記被検パターンの光学的なフーリエ変換像から前記被検パターンの欠陥の無い場合のフーリエ変換像に相当する成分を除去する光学的フィルタ手段と、前記第2レンズにより投影された前記被検パターンの欠陥の像を光電変換する光電検出手段と、前記被検パターンと前記照明手段とを相対的に変位させる相対走査手段と、を設けた事を特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H01L 21/66
