特許

J-GLOBAL ID：200903044938431127

クリーンルームの汚染ガス防止方法

発明者： 山本 八郎 ,  鴫原 新一 ,  石橋 章 ,  三井 英一 ,  若山 恵英
出願人/特許権者： 大成建設株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074302
公開番号（公開出願番号）：特開平11-270886
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内をアウトガスから保護可能なクリーンルームの汚染ガス防止方法を提供することを課題としている。【解決手段】クリーンルームを汚染するガスを発生可能な材質で構成された製品1を、上記ガスを発生しない材質でできた可撓性のある中空体2で覆い、その中空体2の開口部を、上記ガスを発生しない材質からなるバンド3で封じる。

請求項（抜粋）：

クリーンルームを構成する設備機器類のうち、当該クリーンルームを汚染するガスを発生可能な材質で構成された製品については、上記ガスを発生しない材質でできた可撓性のある中空体で覆い、その中空体の開口部を、上記ガスを発生しない材質でなるシール部材で封じることを特徴とするクリーンルームの汚染ガス防止方法。