特許
J-GLOBAL ID:200903044939125704
光学分析用センサ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長門 侃二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-427405
公開番号(公開出願番号):特開2005-188964
出願日: 2003年12月24日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】 例えばエッチング液の銅イオン濃度等を高精度に測定するに好適な小型で簡易な構造の光学分析用センサ装置を提供する。【解決手段】 特定波長域の光を発する発光素子(例えば赤色発光ダイオード)と、この発光素子から発せられて試料を透過した光を受光する受光素子とを具備し、特に前記発光素子と同一型式の補助発光素子、およびこの発光素子から発せられた光を受光する補助受光素子を備えたリファレンス用センサを、前記発光素子を組み込んだ光源部に該発光素子側から光学的に隔離して一体に設ける。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
特定波長域の光を発する発光素子と、この発光素子から発せられて試料を透過した光を受光する受光素子とを具備した光学分析用センサ装置であって、
前記発光素子と同一型式の補助発光素子と、この発光素子から発せられた光を受光する補助受光素子とを備えたリファレンス用センサを、前記発光素子を組み込んだ光源部にその周囲から光学的に遮光して一体に設けたことを特徴とする光学分析用センサ装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/27 Z
, G01N21/03 Z
Fターム (25件):
2G057AA01
, 2G057AB01
, 2G057AB06
, 2G057AC01
, 2G057BA01
, 2G057BB02
, 2G057BB08
, 2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059CC02
, 2G059EE01
, 2G059FF08
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG05
, 2G059GG10
, 2G059HH02
, 2G059JJ01
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059LL04
, 2G059NN01
, 2G059NN02
, 2G059NN05
引用特許:
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