特許
J-GLOBAL ID：200903044940668207
オーブン用ラック装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172433
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 単位高さあたりの棚板枚数を多くする。【解決手段】 直方体状のラック本体2 内に、第1棚板23の右端が、第2棚板24の右端より左方に位置し、第2棚板24の左端が、第1棚板23の左端より右方に位置するように、第1棚板23と第2棚板24とを交互に上下に間隔を開けて配置するとともに、上下に隣り合う第1棚板23間で両第1棚板23間に位置した第2棚板24の左方にそれぞれ真空排気用カプラ28を、上下に隣り合う第2棚板24間で両第2棚板24間に位置した第1棚板23の右方にそれぞれ真空排気用カプラ28を配置する。
請求項（抜粋）：
直方体状のラック本体と、ラック本体内に互いに上下に間隔をあけて交互に配置された複数の第1および第2棚板と、ラック本体内において各棚板の上方に配置された複数の真空排気用カプラとを備え、それぞれの棚板上に内部空間に連通する排気管を有する板状組立体が載置され、その排気管にそれぞれ真空排気用カプラが接続されて使用されるオーブン用ラック装置であって、第1棚板の右端が、第2棚板の右端より左方に位置し、第2棚板の左端が、第1棚板の左端より右方に位置し、最も上に位置した真空排気用カプラを除く真空排気用カプラのうち、第1棚板上方に位置した真空排気用カプラが、上下に隣り合う第1棚板間で両第1棚板間に位置した第2棚板の左方に、第2棚板上方に位置した真空排気用カプラが、上下に隣り合う第2棚板間で両第2棚板間に位置した第1棚板の右方にそれぞれ位置しているオーブン用ラック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/24 A
, H01J 9/38 A
