特許

J-GLOBAL ID：200903044944572123

弾性表面波フィルタ

発明者： 田上 俊男 ,  高橋 健二 ,  木部 隆志 ,  須摩 修治 ,  江原 永典
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300166
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275963
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波フィルタのパッシベーション膜のボンディング部の密着不良をなくし、その耐湿性の向上を図り得る弾性表面波フィルタを提供する。【構成】 圧電基板10上にすだれ状電極を形成し、その上に絶縁物によるパッシベーション膜を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記すだれ状電極11のボンディング部に位置するパッシベーション膜としてのSiO2 膜12の縁部をCr/Auパッド電極15で挟むようにして幅S2 オーバーラップさせる。

請求項（抜粋）：

圧電基板上にすだれ状電極を形成し、その上に絶縁物によるパッシベーション膜を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記すだれ状電極のボンディング部に位置する前記パッシベーション膜の縁部をパッド電極で挟むようにしてオーバーラップさせるようにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。