特許

J-GLOBAL ID：200903044946713832

ホログラフィを用いた露光方法及び装置

発明者： 玄間 隆志 ,  後藤 明弘 ,  市原 裕 ,  馬込 伸貴 ,  白石 直正 ,  白数 廣 ,  松浦 敏男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244085
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 xy方向の相対位置関係やギャップの検出が容易で、しかもホログラム変形にも対応できるアライメント方法を備えたホログラフィを用いた露光方法及び装置等を提供すること。【構成】 ホログラフィ露光方法において、アライメント用のホログラムを形成する手段と、このホログラムからの再生光E1を利用してウエハ5に設けられたウエハマーク51上での結像状態を検出することによりホログラム記録媒体とウエハとの相対位置ずれを検知し又は補正するアライメント手段を有するもの。

請求項（抜粋）：

所望のパターンが形成されたマスクからの回折光を物体波とし、これと参照波とを干渉させてホログラム記録媒体にホログラムを記録した後、前記参照波と共役な再生波をホログラムに照射して前記マスクに代えて配置されたウエハ上にマスクパターンの像を再生させることにより、マスクのパターンをウエハに転写させるホログラフィを用いた露光方法において、前記マスクに形成された所定形状のアライメントマークからの回折光を物体波として前記ホログラム記録媒体にアライメント用のホログラムマークを記憶させる工程と、前記マスクパターン像の再生に先立って、前記ホログラムマークに再生波を照射して得られる前記アライメントマーク像の再生光により、前記ウエハ面上に設けられたウエハマークを照射すると共に、該ウエハマークで反射又は透過された検出光を検出する工程と、該検出結果に基づいてホログラム記録媒体とウエハとの相対位置ずれ情報を検出し、この位置ずれ情報に基づいてこれらの相対位置関係を補正する工程と、を有することを特徴とするホログラフィを用いた露光方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/22