特許

J-GLOBAL ID：200903044949852302

照明光学装置

発明者： 渋谷 眞人 ,  杉山 香葉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334442
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163102
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 光源からの供給光量の損失が少なく、また被照射物体上で効率が良く、均一な光強度分布が得られる輪帯状光束を形成する照明光学装置を提供する。【解決手段】 本照明光学装置は光束を供給する光源装置1と、光源装置からの光束に基づいて複数の2次光源51を形成するための複数の光学素子2a、2b、2cを有する第1オプティカルインテグレータ(光学的積分器)2と、複数の2次光源51からの光に基づいて複数の3次光源52を形成するための第2光学的積分器5と、複数の3次光源52からの光をそれぞれ集光して被照射物体を照明するコンデンサ光学系7、8とを備えるので、被照射物体上で均一な光強度分布が得られる。また光源装置1と第1光学的積分器2間の光路中に設けられ、前記複数の光学素子の各々に輪帯状光束を導く輪帯状光束形成系10、11、12を備えるので、光源からの供給光量の損失が少ない。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源装置と;前記光源装置からの光束に基づいて複数の2次光源を形成するための複数の光学素子を有する第1オプティカルインテグレータと;前記複数の2次光源からの光に基づいて複数の3次光源を形成する第2オプティカルインテグレータと;前記複数の3次光源からの光をそれぞれ集光して被照射物体を照明するコンデンサー光学系と;前記光源装置と前記第1オプティカルインテグレータとの間の光路中に設けられ、前記複数の光学素子の各々に輪帯状の光束を導く輪帯状光束形成系とを備えることを特徴とする;照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D