特許
J-GLOBAL ID：200903044951964916
電界放出素子用炭素薄膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
野村貿易株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-262219
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167859
出願日： 1998年08月13日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】電界放出陰極に使用される炭素膜は,基板上に堆積された炭素薄膜である.波長244nm,出力2-7mWの励起光,1100cm-1から1850cm-1の波数内で,この炭素膜は1578cm-1から1620cm-1の範囲に,半値幅25cm-1から165cm-1の特徴的な紫外光ラマンバンドを示す.この炭素膜は,化学気相成長,物理気相成長,電気分解,印刷焼き付けや塗装によって得られ,連続のものであっても不連続のものであってもかまわない.
請求項（抜粋）：
紫外光ラマン分光において1578〜1620cm-1の範囲にバンドを持ち,25〜165cm-1の半値幅を持つ,基板上に堆積された炭素膜から成る電界放出素子
IPC (6件)：
H01J 1/30
, B01J 19/00
, C01B 31/02 101
, H01J 29/04
, H01J 31/12
, H01L 29/78
H01J 1/30 F
, H01J 1/30 A
, B01J 19/00 K
, C01B 31/02 101 Z
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01L 29/78
