特許
J-GLOBAL ID：200903044956750000
金属酸化物構造体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鳴井 義夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-292504
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114600
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：
【要約】【課題】 ある特定の大きさからなる複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体、特に光放出素子として好ましく用いられる構造体及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 断面の円換算径0.01〜100μmであり、基板からエピタキシャル成長した複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体及び揮発性または昇華性を有する少なくとも1種の金属化合物であって、少なくとも1種の酸化物形成物質と反応して該金属酸化物に反応する金属酸化物を形成することが可能な金属化合物を気化させて金属化合物気体を得、得られた金属化合物気体を該酸化物形成物質を含んだ反応帯域に置かれた基材上で反応させることを特徴とする前記金属酸化物構造体の製造方法。
請求項（抜粋）：
断面の円換算径が0.01〜100μmであり、基板からエピタキシャル成長した複数の金属酸化物微結晶からなる金属酸化物構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/62 A
, C23C 16/40
4G077AA03
, 4G077AB09
, 4G077BB01
, 4G077BB03
, 4G077BB04
, 4G077BB07
, 4G077BB09
, 4G077BB10
, 4G077DA11
, 4K030AA11
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA44
, 4K030BA45
, 4K030BA46
, 4K030BA47
, 4K030BB02
