特許
J-GLOBAL ID：200903044960688107
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-335825
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198390
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 広い温度範囲で温度オフセット出力変化が小さく、かつ、安価な、角速度センサを得ることを目的としている。【構成】 両面電極を有する圧電素子10の少なくとも片面の分割電極2,3は幅方向に中央で2つに分割した電極を形成し、2つの腕により構成した音叉4の2腕両平面部に貼りつけ接合した構成により、オフセット出力変化が小さくできる。
請求項（抜粋）：
平行な腕を有する音叉と、前記音叉に設けられた少なくとも片面が幅方向に中央で2つに分割した分割電極を有する圧電素子とを備え、前記圧電素子の分割電極に前記音叉の両腕方向の共振周波数に一致した交流信号を印加して駆動させて角速度を検知する角速度センサ。
IPC (2件)：
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