特許
J-GLOBAL ID：200903044962332300
バンプ形成機構及び方法、並びにバンプ形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-029022
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223233
出願日： 2000年02月07日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 バンプ形成機構の加重分解能を悪化させることなくキャピラリの移動時の推力を増加可能なバンプ形成機構、方法、及びバンプ形成装置を提供する。【解決手段】 キャピラリ107の駆動において、制御回路220にて独立して制御可能な複数の駆動源216、217を備え、これら複数個の駆動源に対して、上記キャピラリの移動動作と加重動作とで推力発生方向を変えることにより、高速移動と低加重制御を実現する。よって、ボンディングタクトの高速化と、低加重制御という相反する要求を満たすことができる。
請求項（抜粋）：
垂直方向における待機位置(31)とバンプ形成位置(34)との間でキャピラリ(107)を移動し、かつ上記バンプ形成位置では上記キャピラリに支持される溶融ボール(9a)を電極(61)上に押圧してバンプを形成するバンプ形成機構であって、上記待機位置と上記バンプ形成位置との間で上記キャピラリを移動させるとともに上記バンプ形成位置における上記バンプ形成のため上記キャピラリの押圧動作を行う駆動装置であって、上記キャピラリを上記垂直方向に移動させる複数の駆動源(216、217)と、各駆動源毎に別個に駆動力発生方向の制御を行うことで上記待機位置と上記バンプ形成位置との間での上記キャピラリの移動用制御及び上記バンプ形成位置でのバンプ形成用制御を行う制御回路(220)とを有する駆動装置(201)を備えたことを特徴とするバンプ形成機構。
IPC (2件)：
H01L 21/60
, H01L 21/60 301
H01L 21/60 301 H
, H01L 21/60 301 L
, H01L 21/92 604 J
5F044BB05
, 5F044BB06
, 5F044KK19
, 5F044QQ04
