導電性Ta系膜形成材料、導電性Ta系膜形成方法、及び配線膜形成方法、並びにULSI

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宇高克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070753
公開番号（公開出願番号）：特開2000-265274
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】使い易い導電性Ta系膜形成材料を提供することである。【解決手段】金属タンタル、炭化タンタル、窒化タンタル、珪化タンタル、窒珪化タンタル等の導電性のTa系膜を形成する材料であって、Taを有する化合物と、炭化水素系の溶媒及び/又はアミン系の溶媒とを含む導電性Ta系膜形成材料。

請求項（抜粋）：

導電性のTa系膜を形成する材料であって、Taを有する化合物と、炭化水素系の溶媒とを含むことを特徴とする導電性Ta系膜形成材料。

IPC (12件)：

C23C 16/18 , B01J 19/00 , C23C 16/32 , C23C 16/34 , C23C 16/42 , H01B 1/02 , H01B 5/14 , H01B 13/00 503 , H01L 21/285 , H01L 21/285 301 , H01L 21/3205 , C07F 9/00

FI (12件)：

C23C 16/18 , B01J 19/00 K , C23C 16/32 , C23C 16/34 , C23C 16/42 , H01B 1/02 Z , H01B 5/14 Z , H01B 13/00 503 Z , H01L 21/285 C , H01L 21/285 301 R , C07F 9/00 Z , H01L 21/88 R

Fターム (57件)：

4G075AA24 , 4G075BA05 , 4G075BC04 , 4G075CA02 , 4G075CA32 , 4G075CA47 , 4G075CA62 , 4H050AA03 , 4H050AA05 , 4H050AB78 , 4H050WB12 , 4H050WB14 , 4H050WB15 , 4H050WB16 , 4H050WB17 , 4H050WB21 , 4K030AA02 , 4K030AA03 , 4K030AA04 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA13 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030AA24 , 4K030BA17 , 4K030CA04 , 4K030EA01 , 4K030FA01 , 4K030FA06 , 4K030FA10 , 4K030LA01 , 4K030LA15 , 4M104BB17 , 4M104BB27 , 4M104BB32 , 4M104BB34 , 4M104DD45 , 5F033HH21 , 5F033HH30 , 5F033HH32 , 5F033HH36 , 5F033PP02 , 5F033PP11 , 5F033XX00 , 5G301AA08 , 5G301AA28 , 5G301AA30 , 5G301AB20 , 5G301AD10 , 5G301AE10 , 5G307GA06 , 5G307GA08 , 5G307GB01 , 5G307GC02 , 5G323AA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

有機アミノタンタル化合物及びこれを含む有機金属化学蒸着用溶液原料並びにこれから作られる窒化タンタル膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-006237 出願人：三菱マテリアル株式会社

前のページに戻る