特許
J-GLOBAL ID:200903044965334192
表面が硬化された透明樹脂基板
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-314611
公開番号(公開出願番号):特開平5-148377
出願日: 1991年11月28日
公開日(公表日): 1993年06月15日
要約:
【要約】【目的】 表面が平坦かつ硬化されたおり、耐摩耗性に優れた透明樹脂基板を提供する。【構成】 最表面層として、シリコン原料として有機シリコン化合物、酸素原料としてN2O ガスまたはO2ガスを用いたプラズマCVD法により形成された SiOX (x≦2)膜を有し、該 SiOX 膜の表面粗さが10点平均粗さRz で1×10-2μm未満である表面が硬化された透明樹脂基板。
請求項(抜粋):
シリコン原料として有機シリコン化合物、酸素原料としてN2O ガスまたは O2 ガスを用いたプラズマCVD法により形成された SiOX (x≦2) 膜を有し、該 SiOX 膜の表面粗さが10点平均粗さRz で1×10-2μm未満であることを特徴とする表面が硬化された透明樹脂基板。
IPC (4件):
C08J 7/04
, C08J 7/00 306
, C23C 16/24
, C23C 16/40
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