特許

J-GLOBAL ID：200903044965334192

表面が硬化された透明樹脂基板

発明者： 篠田 真人 ,  西出 利一 ,  長嶋 敏和
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社 ,  セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314611
公開番号（公開出願番号）：特開平5-148377
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 表面が平坦かつ硬化されたおり、耐摩耗性に優れた透明樹脂基板を提供する。【構成】 最表面層として、シリコン原料として有機シリコン化合物、酸素原料としてN2O ガスまたはO2ガスを用いたプラズマCVD法により形成された SiOX (x≦2)膜を有し、該 SiOX 膜の表面粗さが10点平均粗さRz で1×10-2μm未満である表面が硬化された透明樹脂基板。

請求項（抜粋）：

シリコン原料として有機シリコン化合物、酸素原料としてN2O ガスまたは O2 ガスを用いたプラズマCVD法により形成された SiOX (x≦2) 膜を有し、該 SiOX 膜の表面粗さが10点平均粗さRz で1×10-2μm未満であることを特徴とする表面が硬化された透明樹脂基板。

IPC (4件)：

C08J 7/04 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 16/24 ,  C23C 16/40