特許

J-GLOBAL ID：200903044967736301

Alを含む半導体材料からなるレンズ、それを用いた面型光素子及び、レンズの製造方法

発明者： 福谷 和彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317530
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121611
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】簡単な方法で大量に作製でき、その形状を容易に制御性良く形成できるマイクロレンズなどのレンズを提供することである。【解決手段】少なくともAlを含む半導体材料からなるレンズ204である。基板201に平行な面内では均一な組成であり基板201に垂直な方向にはAl濃度が変化した柱状の半導体領域が基板201上に形成され、柱状の半導体領域の一部が側壁面からウエットエッチングされて成る半導体領域204が、集光作用等の光線処理作用を行い得る立体形状を有している。

請求項（抜粋）：

少なくともAlを含む半導体材料からなるレンズであって、基板に平行な面内では均一な組成であり該基板に垂直な方向にはAl濃度が変化した柱状の半導体領域が該基板上に形成され、該柱状の半導体領域の一部が該柱状の側壁面からウエットエッチングされて成る半導体領域が立体形状を有していることを特徴とするレンズ。

IPC (3件)：

G02B 3/00 ,  G02B 1/00 ,  H01S 5/187

FI (3件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 1/00 ,  H01S 5/187

Fターム (8件)：

5F073AA73 ,  5F073AB17 ,  5F073AB26 ,  5F073CA05 ,  5F073CB02 ,  5F073DA05 ,  5F073DA21 ,  5F073EA19