特許

J-GLOBAL ID：200903044969256366

マグネシア単結晶基板及びマグネシア単結晶

発明者： 柿田 進一 ,  小原 明 ,  岩田 昭
出願人/特許権者： 第一稀元素化学工業株式会社
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-157903
公開番号（公開出願番号）：特開平11-349399
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】特に耐水和性に優れたMgO単結晶基板を提供する。【解決手段】CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。

請求項（抜粋）：

CaO1000ppm以下、SiO2400ppm以下であって、かつ、CaO/SiO2重量比が12以下であるマグネシア単結晶基板。