特許
J-GLOBAL ID：200903044969457850
熱式質量流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澁谷 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156291
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341880
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 逆流、過流量を自動的に検出する熱式質量流量制御装置を提供する。【構成】 質量流量信号検出手段を構成するサーモレジスタ6a、6bからなるブリッジ回路7の出力を差動増幅器8で増幅して質量流量信号Bを得る。質量流量信号Bを逆流検出設定信号(-2%)Cと比較する逆流信号検出比較回路14に入力して逆流の有無を検出する。また、質量流量信号Bを過流量検出設定信号(100%)Aと比較する過流量検出比較回路15に入力して過流量の有無を検出する。比較回路14又は15の出力をシュミット回路で波形整形して駆動回路18に供給して異常を検出した時は警報器作動リレー20を駆動し、表示LEDランプ19を点灯する。
請求項（抜粋）：
熱式質量流量制御装置において、質量流量信号を検出する質量流量信号検出手段と、前記質量流量信号手段が出力した質量流量信号と逆流検出設定信号とのレベルを比較する逆流信号検出比較回路とを備え、前記逆流信号検出比較回路の出力信号に基づいて逆流の発生を検出することを特徴とする熱式質量流量制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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