特許
J-GLOBAL ID：200903044971167761
圧電振動デバイスの周波数調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-049438
公開番号（公開出願番号）：特開2009-207052
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】 小型化に対応し、効率良く周波数調整を行うことができる圧電振動デバイスの周波数調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基部3と一対の腕部2,2とからなる音叉型圧電振動片1の、前記腕部の先端領域に周設された調整用金属膜4の質量を削減することによって、周波数調整を行う圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、前記調整用金属膜4は、主面金属膜41,42と側面金属膜43,44とで構成され、前記側面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う側面調整工程と、当該側面調整工程後に、前記主面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う主面調整工程とからなる。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
基部と一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片の、前記腕部の先端領域に周設された調整用金属膜の質量を削減することによって周波数の調整を行う、圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、
前記調整用金属膜は、主面金属膜と側面金属膜とで構成され、
前記側面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う、側面調整工程と、
側面調整工程後に、前記主面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う、主面調整工程と、
からなる圧電振動デバイスの周波数調整方法。
IPC (4件)：
H03H 3/04
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H3/04 B
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
5J108NA03
, 5J108NB04
, 5J108NB05
