特許

J-GLOBAL ID：200903044972145273

欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者： 高橋 淳市
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-162153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346809
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 磁気テープの長手方向に延びる、凹凸が緩やかな欠陥も容易に検出でき、テープ品種に拘わらず同じ検出感度で欠陥検査が行えるようにする。【解決手段】 磁気テープの表面に、格子パターンで基準光を投影し、該反射光をCCDリニアセンサ5で撮像して光電変換する。その信号をフィルタ11で直流分をカットした後ピーク検波器13で検波し、増幅器12b,12cで増幅して+側の+P′信号、-側の-P′信号を作成する。これら+P′,-P′とCPUからのディジタル制御信号とに基づいて、D/Aコンバータ14によって、前記ピーク検波のピーク値のレベルに対して常に同比率の閾値(ディジタル変換するために必要な信号)を設定し出力する。D/Aコンバータ14の+側の閾値信号T/L1,-側の閾値信号T/L2と、増幅器12aで増幅されたフィルタ11の出力信号を各々比較し、2値化された信号を出力する。

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面に、所定の通過、遮蔽パターンを有した基準光を投影し、該反射光を撮像して光電変換する投影法を用いて、前記光電変換された検出信号のパターンに基づいて検査対象物の表面状況を検査する欠陥検査装置であって、前記光電変換された信号を、検査対象物の種類に応じて設定した閾値でディジタル信号に変換する信号処理部を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。

Fターム (8件)：

2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA20 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01