特許
J-GLOBAL ID：200903044977543366
静電容量型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-024014
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208316
出願日： 2005年01月31日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 ダイヤフラムが、3軸方向とも十分な変位量を有し、かつ、剛性が高いことにより反りが抑えられ、その結果、3軸方向の加速度を高い感度でバランスよく検出することができる静電容量型加速度センサを提供する。【解決手段】 外周部を構成する固定部110と、固定部110の内側に配された可動部120とを有するダイヤフラム10。可動部120は、固定部110の内側に配されたジンバル部121と、ジンバル部121の内側に、電極基板30のX方向検出電極33xとY方向検出電極33yとの境界に対応する位置に配された梁部140を介して配され、これら検出電極33x,33yとそれぞれ対面する扇状のX方向検出可動部122xおよびY方向検出可動部122yと、これら検出可動部122x,122yの内側に配され、電極基板30のZ方向検出電極33zに対面するZ方向検出可動部122zとを備える。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
ダイヤフラムと、このダイヤフラムに対向して配置され、中央にZ方向検出電極が形成されるとともに、このZ方向検出電極の周囲に、X方向検出電極、Y方向検出電極がそれぞれ形成された電極基板とを備え、前記ダイヤフラムの弾性変形に応じて生じるダイヤフラムと電極基板間の静電容量の変化を、前記各電極で検出する静電容量型加速度センサであって、
前記ダイヤフラムは、外周部を構成する固定部と、この固定部の内側に配された可動部とを有し、
さらにこの可動部は、
前記固定部の内側に配されたジンバル部と、
このジンバル部の内側に、前記X方向検出電極と前記Y方向検出電極との境界に対応する位置に配された梁部を介して配され、これらX方向検出電極およびY方向検出電極とそれぞれ対面する扇状のX方向検出可動部およびY方向検出可動部と、
これらX方向検出可動部およびY方向検出可動部の内側に配され、前記Z方向検出電極に対面する形状に形成されたZ方向検出可動部とを備えている
ことを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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