形状測定方法及び測定装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-342145
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161930
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】被測定面が複数の凸部又は凹部を有しているときに、各凸部又は凹部相互間の高さ又は深さの相対的な関係を求めることができる、又は被測定面が粗面の場合でも良好に干渉計測ができる形状測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】被測定面の形状を干渉計測により測定する方法又は装置において、前記被測定面は、不連続的に少なくとも2以上の凸部を有しており、前記少なくとも2以上の凸部にわたり連続しており、可撓性を有し、前記被測定面と接する側に導電性を持つコーティングが施された形状測定用補助部材を、前記被測定面上に載置し、干渉計測を行うことを特徴とする形状測定方法又は装置、を提供する。

請求項（抜粋）：

被測定面の形状を干渉計測により測定する方法において、前記被測定面は、不連続的に少なくとも2以上の凸部を有しており、前記少なくとも2以上の凸部にわたり連続しており、可撓性を有し、前記被測定面と接する側に導電性を持つコーティングが施された形状測定用補助部材を、前記被測定面上に載置し、干渉計測を行うことを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/24 D , G01B 9/02

Fターム (28件)：

2F064AA09 , 2F064EE05 , 2F064FF02 , 2F064GG22 , 2F064GG38 , 2F064GG39 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064HH09 , 2F064JJ01 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA47 , 2F065BB05 , 2F065CC17 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG05 , 2F065GG21 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL35 , 2F065LL36 , 2F065QQ31

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