真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158491
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012087
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】冷却水によりケーシング内に錆が発生し、冷却水が流れずポンプが停止するのを防ぐ。また、ポンプをコンパクトにし、用力の数を減らす。【構成】ポンプの冷却をする冷却媒体を不活性ガス9で行い、冷却することにより熱を吸収して温められた不活性ガス10をローター隙16へ吹き出すための不活性ガス吹き出し口17をケーシング1に設けている。

請求項（抜粋）：

真空ポンプの冷却媒体として不活性ガスを使用することと、ポンプを冷却し、ポンプの熱を吸収することにより温められた不活性ガスをケーシングからローター部へ向けて吹き出すための通路のをケーシングに設けたことを特徴とする真空ポンプ。

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