改良されたフォーカスリングに対する方法および装置。

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 砂川克 , 橋本良郎 , 風間鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-539514
公開番号（公開出願番号）：特表2007-511089
出願日： 2004年10月19日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】改良されたフォーカスリングに対する方法および装置を提供することである。【解決手段】プラズマ処理システム内で基板ホルダに組み合わせるように構成されたフォーカスリングアセンブリは、フォーカスリングの寿命を決定する1つ以上の消耗インジケータを有するフォーカスリングを具備し、そこにおいて、このフォーカスリングを基板ホルダに組み合わさせることは、プラズマ処理システムのフォーカスリングの自動-センタリングを容易にする。例えば、基板ホルダにマウントされたリングをセンタリングすることは、フォーカスリング上の嵌合形態で組み合わせるように構成されたセンタリング形態を有することができる。【選択図】

請求項（抜粋）：

プラズマ処理システムの基板ホルダ上の基板を囲むフォーカスリングアセンブリであって、前記基板ホルダに組み合わせられるように構成されたセンタリングリングと、上面と、下面と、前記上面および前記下面の少なくとも一方に組み合わせられる1つ以上の消耗インジケータとを含むフォーカスリングとを具備し、前記フォーカスリングは、前記センタリングリングに前記フォーカスリングを組み合わせることによって前記基板のまわりにセンタリングされるように構成されているフォーカスリングアセンブリ。

IPC (2件)：

H01L 21/306 , H05H 1/46

FI (2件)：

H01L21/302 101G , H05H1/46 A

Fターム (7件)：

5F004BA04 , 5F004BB21 , 5F004BB22 , 5F004BB23 , 5F004BB29 , 5F004CB13 , 5F004DB03

前のページに戻る