特許
J-GLOBAL ID：200903045000540888
基板ピックアップ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132381
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 収納容器に収納された基板を取り出す基板ピックアップ装置に関し、特にピックアップした基板を別の収納容器にスムースに収納できる基板ピックアップ装置の提供を目的とする。【構成】 外周面に円弧面11a を有する基板11を輪切り状に垂立して収納した収納容器12から、この基板11を一枚ずつ取り出す基板ピックアップ装置において、基板11の左右の円弧面11a に接触できる一対の接触部31a,31b を有する接触手段31と、基板11を吸着できる吸着部32a を表面に有するとともに、接触手段31と一体的に連結し、この接触手段31の接触部31a,31b 間の線分Laの中心Maを垂直に通過する垂線Lbに重畳する基準線Lcを有する吸着手段32と、鉛直方向に移動できる支持手段34に連結して接触手段31と吸着手段32とを係止し、線分Laを含む平面と平行な平面内で接触手段31と吸着手段32との同時揺動を可能にする揺動手段33とを含ませて構成する。
請求項（抜粋）：
外周面に円弧面(11a) を有する基板(11)を輪切り状に垂立して収納した収納容器(12)から、この基板(11)を一枚ずつ取り出す基板ピックアップ装置において、前記基板(11)の左右の円弧面(11a) に接触できる一対の接触部(31a,31b) を有する接触手段(31)と、前記基板(11)を吸着できる吸着部(32a) を表面に有するとともに、前記接触手段(31)と一体的に連結し、この接触手段(31)の接触部(31a,31b) 間の線分(La)の中心(Ma)を垂直に通過する垂線(Lb)に重畳する基準線(Lc)を有する吸着手段(32)と、鉛直方向に移動できる支持手段(34)に連結して前記接触手段(31)と前記吸着手段(32)とを係止し、前記線分(La)を含む平面と平行な平面内で接触手段(31)と吸着手段(32)との同時揺動を可能にする揺動手段(33)とを含んでなることを特徴とする基板ピックアップ装置。
IPC (2件)：
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