ウェーハ製造システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-343902
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180747
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】ウェーハを無駄なく製造することができるウェーハ製造システムの提供。【解決手段】ワイヤソー12で切断されたウェーハを剥離洗浄装置14でスライスベースから剥離した後、そのウェーハの形状(厚さ、反り等)を剥離洗浄装置14に組み込まれた形状測定部14Bで測定する。そして、その測定結果に基づいてワイヤソー12の運転条件(スラリ温度、ワイヤの走行パターン等)を修正するとともに、次工程の加工条件(厚さ、反り形状に合わせた加工等)を設定する。

請求項（抜粋）：

ワイヤソーで切断されたウェーハをスライスベースから剥離して洗浄する剥離洗浄装置にウェーハの形状を測定する形状測定装置を設け、該形状測定装置の測定結果に基づき前記ワイヤソーの運転条件を修正することを特徴とするウェーハ製造システム。

IPC (2件)：

B28D 5/04 , H01L 21/304 311

FI (2件)：

B28D 5/04 C , H01L 21/304 311 A

前のページに戻る