特許
J-GLOBAL ID：200903045008381967
酸化物単結晶の育成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
門多 透
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045288
公開番号（公開出願番号）：特開平5-246793
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【構成】 チョクラルスキー法により酸化物単結晶を育成する際に、種結晶の表面又は種結晶ホルダーに白金膜又は白金-ロジウム膜を形成させて種結晶ホルダーに固定させる。【効果】 従来の白金箔を使用する方法に比べ、種結晶が確実に保持され、複雑な形状にも適合でき、作業時間が短縮され、コストを低減できる。
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法により種結晶を用いて酸化物単結晶を育成させるにあたり、上記種結晶の表面及び/又は種結晶ホルダーに白金膜又は白金-ロジウム合金膜を形成して種結晶をホルダーに固定せしめることを特徴とする酸化物単結晶の育成方法。
IPC (2件)：
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