特許
J-GLOBAL ID：200903045013892880
平板部材の搬送方法及び搬送装置並びに搬送平板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101763
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291644
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板等の重量のある平板を安定して吸引保持搬送する。【解決手段】 搬送すべき平板部材の略中心位置に配置する第一の吸着手段と、前記平板部材の略重心位置に配置する第二の吸着手段と、前記各吸着手段を保持する保持部材と、及び、前記吸着手段による吸引流体の流体圧力を調整する流体調整部材を備えた平板部材の搬送装置。
請求項（抜粋）：
搬送すべき平板部材の中心線位置の複数個所に吸着個所を設け、前記平板の外周位置近傍に支点を設け、前記吸着個所から前記支点方向に吸着流体の流れを制御する制御部材を配置して前記平板部材を平行状態で搬送するようにしたことを特徴とした平板部材の搬送方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/06 A
, B25J 15/06 B
