特許

J-GLOBAL ID：200903045014202365

バンプIC検査装置

発明者： 斉藤 明 ,  農宗 千典
出願人/特許権者： 日本電産トーソク株式会社
代理人 (1件)： 三好 千明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-341403
公開番号（公開出願番号）：特開2007-149908
出願日： 2005年11月28日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】省スペース化及び低コスト化を図ることができるバンプIC検査装置を提供する。【解決手段】ステージ11の真上に第1のミラー21を設け、バンプ面13の平面画像を右斜め下方へ向けて反射する。第1のミラー21の右側に第2のミラー31を設け、第1のミラー21で反射した平面画像を真上に反射する。第2のミラー31の真上にカメラ41を設け、第2のミラー31で反射した平面画像を入力する。ステージ11の右方に第3のミラー51を設け、バンプ付きIC2の側部画像をカメラ41のレンズ42へ向けて反射する。レンズ42への平面画像入力位置62と側部画像入力位置63を異なる位置に設定し、平面画像光路64と側部画像光路65とが重ならないように各ミラー21,31,51を調整する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

バンプ面にバンプが設けられたバンプ付きICの画像を取得するカメラを備えたバンプIC検査装置において、 前記バンプ付きICの前記バンプ面の上方に配置され、該バンプ面の平面画像を側方へ向けて反射する第1反射手段と、 該第1反射手段で反射した前記平面画像を前記カメラのレンズへ向けて反射する第2反射手段と、 前記バンプ付きICの横側に配置され、該バンプ付きICの側部画像を前記カメラの前記レンズへ向けて反射する第3反射手段とを備え、 前記第2反射手段が反射した前記平面画像の前記レンズへの入力位置と、前記第3反射手段が反射した前記側部画像の前記レンズへの入力位置とが異なるように前記平面画像の光路及び前記側部画像の光路を設定したことを特徴とするバンプIC検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

H01L21/92 604T ,  G01N21/88 Z

Fターム (8件)：

2G051AA61 ,  2G051AA62 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07