特許
J-GLOBAL ID：200903045015554508
流体流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044930
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237123
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】目標流量レンジ幅が広い制御を行なう場合に、複数台設けた流量調整弁及び流量センサをあたかも1台のように滑らかに切換えられるようにする。【解決手段】複数の流量調整弁2a〜2cを設け、そのCV値範囲は互いに重なるように選定する。制御演算部13〜15は、与えられる目標流量、弁1次圧、弁2次圧、流体温度から亜臨界と臨界の場合分けで全CV値を算出し、どの流量調整弁で制御するかを選択する。流量調整弁の切り換え時の並列制御は、CV値の大きい流量調整弁でPI制御をしながらCV値の小さい流量調整弁はフィードフォワード制御を行ない、合計流量が目標流量になるように制御する。一方、流量検出部にも各流量調整弁毎に複数の差圧センサを設置する。流量センサ選択部17は、上記選択された流量調整弁の下流側の流量データを使用する。切り換えの並列制御時は、両者のCV値の高い方の流量調整弁の下流側の流量データを使用する。
請求項（抜粋）：
並列的に設けられたそれぞれCV値幅の異なる複数台の流量調整弁と、これらの各流量調整弁に対する流量を検出する複数のセンサからなる流量検出部と、上記流量調整弁の1次圧を検出する弁1次圧検出器と、上記流量調整弁の2次圧を検出する弁2次圧検出器と、上記流量調整弁に流れる流体の温度を検出する流体温度検出器と、上記弁1次圧検出器、弁2次圧検出器により検出される弁1次圧、弁2次圧、上記流体温度検出器により検出される流体温度及び目標流量から全CV値を算出し、このCV値に基づいて作動させる流量調整弁を選択する流量調整弁選択部と、上記目標流量と上記流量検出部のセンサの検出能力が対応するように該センサを選択してその検出流量をフィードバックする流量センサ選択部と、上記流量調整弁選択部により選択された流量調整弁の開度を上記目標流量及び上記流量センサ選択部により選択されたセンサ検出流量に基づいてPI制御する制御演算部と、を具備したことを特徴とする流体流量制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 7/06 B
, G01F 1/00 X
