特許
J-GLOBAL ID：200903045020912919
走査電子顕微鏡の試料ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263273
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084939
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 試料台を取り付け易く、且つ、試料台が脱落したり、ずれたりにくい構成の走査電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。【解決手段】 試料を固定して回転する走査電子顕微鏡の試料ホルダにおいて、回転軸に平行方向に、試料台2の対向する両端部を収容して試料台を保持する溝6を有し、且つ、試料台2を溝6に押し当てて固定する板バネ4を有し、溝6間の最大距離L1が試料台2の幅L2より大きく、溝6間の最小距離L3が試料台の幅L2より小さいことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料を固定して回転する走査電子顕微鏡の試料ホルダにおいて、回転軸に平行方向に、試料台の対向する両端部を収容して試料台を保持する少なくとも一組の固定された溝を有し、且つ、該溝に収容された試料台を試料ホルダに押し当てて固定する手段を有し、前記一組の溝間の最大距離が試料台の幅より大きく、該溝間の最小距離が試料台の幅より小さいことを特徴とする走査電子顕微鏡の試料ホルダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 A
, G01N 1/28 W
5C001AA01
, 5C001AA02
, 5C001CC04
