特許

J-GLOBAL ID：200903045022498079

電子増倍装置

発明者： 片山 誠
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217135
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063533
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 空間分解能が改善された電子増倍装置を提供する。【解決手段】 電子増倍装置はマイクロチャンネルプレート(1)を含み、マイクロチャンネルプレート(1)はエネルギー線(R)を受けて2次電子(e)を増殖させるための少なくとも1つのチャンネル(2)を含み、チャンネル(2)は3〜5μmの範囲内の断面直径(D)を有している。

請求項（抜粋）：

マイクロチャンネルプレートを含む電子増倍装置であって、前記マイクロチャンネルプレートはエネルギー線を受けて2次電子を増殖させるための少なくとも1つのチャンネルを含み、前記チャンネルは3〜5μmの範囲内の断面直径を有していることを特徴とする電子増倍装置。

IPC (3件)：

H01J 43/04 ,  G01T 1/28 ,  H01J 1/32

FI (3件)：

H01J 43/04 ,  G01T 1/28 ,  H01J 1/32 Z