特許
J-GLOBAL ID：200903045024642720
製造プロセス品質異常処置システムおよび品質管理値更新方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-027495
公開番号（公開出願番号）：特開平8-202775
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】予めトラブル発生を予防する処置がとれる製造プロセス品質異常処置システムおよびその品質管理値更新方法を提供すること。【構成】プロセスデータ収集装置12で収集された各プロセスデータは収集データチェック装置14によって、製品仕様値から決められた管理値、および管理上限値、管理下限値と比較され、管理幅内に収まっているか判定される。と同時にサンプリングによって平均値、バラツキを算出して、これら収集データの動向を調べて、その求めた値に応じて管理値自動更新装置15によって厳しい側に管理幅を自動的に再設定する。管理幅を越えたり所定の条件から外れる場合、アラームを発したり、ロットを自動停止させる。管理値が実績データに合わせて厳しくされるので、より品質向上が実現する。また見落としで異常が発生するのを未然に防ぐことができ、無駄なロットを発生させてしまうこともない。
請求項（抜粋）：
製造工場で、工場管理システムの下に、工程管理装置、原単位管理装置、アラーム装置、およびロット自動停止装置、および収集データチェック装置を含み、プロセスデータを管理する管理値、および管理上限値、管理下限値で決まる管理幅を、過去の実績を基に前記管理値を更新すると共に該管理幅を狭めて自動更新する管理値自動更新装置と、あるロットが前記管理幅を外れた場合および管理値に対して所定の傾向を有する場合に、該当ロットの流動に対するアラームを発生させる手段、もしくは該ロットの流動を停止させる手段とを備えていることを特徴とする製造プロセス品質異常処置システム。
IPC (3件)：
G06F 17/60
, B23Q 41/08
, H01L 21/02
