特許

J-GLOBAL ID：200903045024888869

検査用プローブ及び検査装置

発明者： 白鳥 信夫
出願人/特許権者： 株式会社精研
代理人 (1件)： 近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371823
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174642
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】 電気信号の減衰が小さい検査プローブにおいて、寿命を長くし、検査用プローブの細径化を容易にすること。【解決手段】 矢尻3とコイルスプリングS1との間に介在し、後端部4によりソケット1に向けて付勢される押圧部材5は、ソケット1の内周面に面接触する摺動面5eと、軸方向に対して傾斜した端面5aと、を有する。矢尻3の後端部4は、前記端面5aに対応して線接触するテーパ面4aを有する。後端部4のテーパ面4aに押圧部材5の端面5aが軸方向に対して斜めに当接し、押圧部材5はコイルスプリングS1により押されて矢尻3の後端部4を押圧するので、端面5aとテーパ面4aとの押圧により押圧部材5はソケット1の内周面に押し付けられる。

請求項（抜粋）：

筒状のソケットと、被検査部品の端子に接触される接触部及び前記ソケット内で軸方向に摺動する摺動部を有する接触部材と、前記ソケット内で前記接触部材に付勢するスプリングと、を備えた検査用プローブであって、前記接触部材の摺動部端面と前記スプリングとの間に介在し、前記摺動部により前記ソケットに向けて付勢される押圧部材を設け、該押圧部材は、前記ソケットの内周面に線接触又は面接触する摺動面と、軸方向に対して傾斜した押圧端面と、を有し、前記接触部材の摺動部は、前記押圧端面に対応して線接触又は面接触する被押圧面を有する、ことを特徴とする検査用プローブ。

IPC (5件)：

G01R 1/067 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/067 C ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (21件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AH05 ,  2G011AA04 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AB04 ,  2G011AB05 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC02 ,  2G011AC14 ,  2G032AF04 ,  2G032AL03 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04