特許
J-GLOBAL ID：200903045035080057

検査装置および検査方法

発明者：
小出 範幸

小出 範幸 について

, 
小松 宏一郎

小松 宏一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102181
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294609
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【目的】被検物体にて散乱光等の検査に不要な回折光の発生を防止することによって、より一層高い精度のもとで安定した被検物体の検査が達成し得る装置及びび方法を提供する。【構成】被検面に対して検査光を照射する照射系と、前記被検面からの散乱光を検出する検出系とを有し、前記被検面の状態を検査する検査装置において、前記検査光を前記被検面に照射することにより発生する回折光が前記検出系へ導かれることを制限するために、前記検査光の波長を所定の波長に制限する波長制限手段を配置する。
請求項（抜粋）：
被検面に対して検査光を照射する照射系と、前記被検面からの散乱光を検出する検出系とを有し、前記被検面の状態を検査する検査装置において、前記検査光を前記被検面に照射することにより発生する回折光が前記検出系へ導かれることを制限するために、前記検査光の波長を所定の波長に制限する波長制限手段を配置することを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88
FI (3件)：
H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 645 A
Fターム (46件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD12 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG16 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL19 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL26 ,  2F065LL30 ,  2F065PP11 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CC12 ,  2G051EA23 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA19 ,  4M106CA41 ,  4M106CA70 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB15
引用特許：
審査官引用 (1件)

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