特許

J-GLOBAL ID：200903045037599238

プラズマ殺菌用装置と方法

発明者： グレーヴズ,クリントン・ジイ ,  グレーヴズ,クリントン・ジー・ザ セカンド
出願人/特許権者： グレーヴズ,クリントン・ジイ ,  グレーヴズ,クリントン・ジー・ザ セカンド
代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521703
公開番号（公開出願番号）：特表平11-501530
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】本発明は物品を殺菌する方法と装置を提供する。典型的な一方法によれば、少なくとも一個の物品をチャンバの内部に入れ、チャンバに減圧をかける。チャンバ内の圧力が充分降下してからチャンバに水蒸気を導入し、電磁線エネルギーを印加しプラズマを発生させる。一つの特に好ましい態様において、チャンバは水蒸気が導入される以前に静的条件に達することができる。このようにして、水蒸気はチャンバのボリューム全体にわたり均一に分布するすることができるため、電磁線エネルギーを印加すると直ちに均一に分布したプラズマを発生させることができる。

請求項（抜粋）：

物品を殺菌する方法であって、 チャンバに少なくとも一つの物品を入れるステップと、 チャンバに減圧をかけるステップと、 チャンバに水蒸気を導入するステップと、 チャンバに電磁線エネルギーを印加しプラズマを発生させるステップとを含む方法。