特許
J-GLOBAL ID：200903045040221041
位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218648
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181066
出願日： 1985年10月08日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【課題】グローバルアライメントの際、各基板内のパターン(ショット領域)毎に高い位置合わせを保ちつつ、スループットを高めた位置合わせ方法を提供することを目的とする。【解決手段】設計上の配列座標に従って規則的に整列した複数のショットが形成されたN(ただしN>1)枚の基板の夫々について、ショットの各々を位置合わせする方法において、複数のショットの内、所定のサンプルショットの設計上の座標値と実測値とに基づいて、前記基板上での前記複数のショットの配列の規則性を各基板毎に決定する際、N枚の基板の内、1枚目からm(ただしm<N)枚目までの各基板についての第1サンプルショットの数と、(m+1)枚目からN枚目までの各基板についての第2サンプルショットの数とを異ならせる。
請求項（抜粋）：
設計上の配列座標に従って規則的に整列した複数のショットが形成されたN(ただしN>1)枚の基板の夫々について、前記ショットの各々を所定の基準位置に順次位置合わせする方法において、前記複数のショットの内、所定のサンプルショットの設計上の座標値と実測値とに基づいて、前記基板上での前記複数のショットの配列の規則性を各基板毎に決定する際、前記N枚の基板の内、1枚目からm(ただしm<N)枚目までの各基板についての第1サンプルショットの数と、(m+1)枚目からN枚目までの各基板についての第2サンプルショットの数とは異なることを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, G05D 3/12
, H01L 21/68
H01L 21/30 525 A
, H01L 21/30 525 W
, H01L 21/30 525 X
