特許

J-GLOBAL ID：200903045054289838

角形基板の露光装置

発明者： 中小路 佳史 ,  柳原 政光 ,  内田 玄 ,  白石 嘉弘 ,  森岡 利伸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201629
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045886
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 角形の感光プレートの周辺部、又は任意の位置に、互いに直交する2方向に伸びた帯状の露光領域を形成する。【構成】 角形プレートの搬送路中に、直進移動ユニットと回転機構とを設けるとともに、搬送路中の一部に、直進移動ユニットの移動方向と直交する方向に可動なスポット照射系を配置する。

請求項（抜粋）：

表面に感光層を有する角形基板を自動搬送機構によって基板保管部から搬送して基板ステージ上に載置し、該角形基板の感光層にマスクのパターンを転写露光する露光装置において、前記自動搬送機構は、前記基板保管部と前記基板ステージとの間の搬送路中に、前記角形基板の互いに対向する2つの辺の夫々とほぼ平行な方向に、且つ該2つの辺の長さとほぼ等しい距離だけ前記角形基板を一次元移動させる一次元移動機構と、前記角形基板の向きをほぼ90°回転させる回転機構とを有し;さらに、前記一次元移動機構による前記角形基板の移動軌跡中に露光用照明光の照射領域が配置され、前記角形基板上の前記マスクのパターンの転写領域外を局所的に露光する露光手段と;該露光手段による局所的な照射領域を、前記一次元移動の方向と直交する方向に関して変更するために、前記露光手段の一部を駆動させる照射位置変更手段と;を備え、前記一次元移動機構により前記角形基板を移動させつつ前記露光手段による局所的な露光を行うことによって前記角形基板上に一方向に延びた第1の帯状露光領域を形成し、前記回転機構によって前記角形基板を回転させてから前記一次元移動機構により前記角形基板を移動させることによって前記角形基板上に前記一方向とほぼ直交する方向に延びた第2の帯状露光領域を形成することを特徴とする角形基板の露光装置。