特許
J-GLOBAL ID：200903045061197558
レーザ加工方法およびインクジェットヘッド製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-366934
公開番号（公開出願番号）：特開2007-167881
出願日： 2005年12月20日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】開口部のエッジの形状が均一で、該開口部の直径の誤差が小さい貫通孔をプレートに形成し、加工によって生じた生成物を容易に除去できるレーザ加工方法およびインクジェットヘッド製造方法を提供する。【解決手段】レーザビーム5によりオリフィスプレート1にオリフィス8を形成するレーザ加工方法は、オリフィスプレート1のインク吐出面に、粘着力を有する粘着フィルム4を設ける工程と、オリフィスプレート1のレーザ照射面に、流動性を有した流動層2と、上面保護フィルム3とをこの順に設ける工程と、オリフィスプレート1のレーザ照射面に対してレーザビーム5を照射し、オリフィスプレート1にオリフィス8を形成する工程と、粘着フィルム4および保護フィルム3を除去する工程と、流動層2を除去する工程とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光によりプレートに貫通孔を形成するレーザ加工方法において、
上記プレートのレーザ光が照射されるレーザ照射面とは反対側の面に、粘着力を有する粘着フィルムを設ける工程と、
上記プレートのレーザ照射面に、流動性を有した流動層と、保護フィルムとをこの順に設ける工程と、
上記プレートのレーザ照射面に対してレーザ光を照射し、上記プレートに貫通孔を形成する工程と、
上記粘着フィルムおよび上記保護フィルムを除去する工程と、
上記流動層を除去する工程とを含むことを特徴とするレーザ加工方法。
IPC (4件)：
B23K 26/38
, B23K 26/18
, B23K 26/40
, B41J 2/135
B23K26/38 330
, B23K26/18
, B23K26/40
, B41J3/04 103N
2C057AF93
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 2C057AP60
, 4E068AF02
, 4E068CF01
, 4E068CF03
, 4E068DB10
