特許

J-GLOBAL ID：200903045064275380

感湿素子、その製法およびそれを用いた感湿装置

発明者： 佐藤 康弘 ,  太田 和三郎 ,  石田 力 ,  藤沢 悦子
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353699
公開番号（公開出願番号）：特開平7-197237
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 SnO2薄膜を用いた長寿命、低消費電力、更には低コストな感湿素子、その製法および感湿装置の提供。【構成】 雰囲気中に存在する水分量の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた感湿素子において、前記金属酸化物半導体薄膜が、SnO2微粒子薄膜および/またはSnO2超微粒子薄膜よりなりその平均粒子径が10〜200nmおよび/または平均細孔半径が5〜250nmであることを特徴とする薄膜感湿素子。

請求項（抜粋）：

雰囲気中に存在する水分量の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた感湿素子において、前記金属酸化物半導体薄膜が、SnO2微粒子薄膜および/またはSnO2超微粒子薄膜よりなりその平均粒子径が10〜200nmおよび/または平均細孔半径が5〜250nmであることを特徴とする薄膜感湿素子。

IPC (3件)：

C23C 14/08 ,  C23C 14/58 ,  C23C 16/40